Ինչպես օգտագործել սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ. 9 քայլ (նկարներով)

Բովանդակություն:

Ինչպես օգտագործել սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ. 9 քայլ (նկարներով)
Ինչպես օգտագործել սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ. 9 քայլ (նկարներով)
Anonim

Սկան էլեկտրոնային մանրադիտակը (SEM) շատ բարձր թույլատրելի մանրադիտակ է, որը թույլ է տալիս փոքր բաները տեսնել շատ մեծ մանրամասնությամբ: Սա արագ ակնարկ է, թե ինչպես կարելի է լուսանկարել նմուշը `օգտագործելով մեկը: Հիշեք, որ SEM- ը շատ նուրբ սարք է և պետք է օգտագործվի մեծ խնամքով: Այնուամենայնիվ, այս քայլերին ուշադիր հետևելը գրեթե երաշխավորում է, որ դուք չեք վնասի ձեր մանրադիտակը: Կան նաև շատ այլ հնարավորություններ, որոնք չեն քննարկվում այս հոդվածում, բայց այս ընթացակարգը նկարագրում է, թե ինչպես ստանալ հիմնական պատկեր:

Այս հոդվածը տալիս է հատուկ հրահանգներ JEOL JSM-6010LA մանրադիտակին: Jանկացած JEOL մանրադիտակ կունենա ծայրահեղ նման հսկողություն այս հրահանգներում նկարագրված մանրադիտակին: Hitachi մանրադիտակները նույնպես շատ նման կլինեն, բայց այլ ապրանքանիշեր, ինչպիսիք են Zeiss- ը, կարող են տարբեր վայրերում ունենալ կառավարման կոճակներ:

Քայլեր

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 1
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 1

Քայլ 1. Ստացեք պատրաստված նմուշ:

Էլեկտրոնային մանրադիտակի համար նմուշ պատրաստելը ինքնին շատ խորը ընթացակարգ է, ուստի այս ընթացակարգի համար օգտագործեք ձեզ համար պատրաստված նմուշ: Եթե նմուշը պատրաստվում է SEM- ի համար, ապա այն պետք է լինի համապատասխան չափի, ինչպես նաև պետք է ունենա հաղորդիչ մակերես: Քանի որ նմուշն արդեն պատրաստվել է, այս հոդվածը ենթադրում է, որ այն համապատասխանում է այս որակավորումներին:

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 2
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 2

Քայլ 2. Նմուշի դուռը բացելու համար SEM- ը հասցրեք մթնոլորտային ճնշման:

Հասկացեք, որ SEM- ը միշտ միացված կլինի, և նմուշի խցիկը միշտ վակուումի տակ կլինի: Սա նշանակում է, որ խցիկը լիովին դատարկ կլինի գազի ցանկացած մոլեկուլից, ուստի էլեկտրոնները կունենան հստակ ուղի դեպի նմուշը: Սեղմեք և պահեք VENT կոճակը, մինչև այն թարթվի և կլսեք կտտոց: VENT կոճակը կշարունակի թարթել, մինչև խցիկի միջավայրը բարձրացվի մթնոլորտային ճնշման: Երբ VENT կոճակը պինդ նարնջագույն է, դա նշանակում է, որ խցիկը գտնվում է մթնոլորտային ճնշման տակ, և դուք կարող եք բացել դուռը:

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 3
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 3

Քայլ 3. Դրեք ձեռնոցներ:

Սա չափազանց կարևոր է, քանի որ SEM- ի խցիկը պետք է շատ մաքուր մնա:

  • Դռան երկու կողմերում գտնվող բռնակներով դանդաղ սահեցրեք դուռը:
  • Երբ դուռը բաց է, զգուշորեն բռնեք նմուշի պահողը և սահեցրեք այն աջ: Այն դուրս կգա իր ակոսներից, և այժմ կարող եք բեռնել ձեր նմուշը:
  • Նմուշակրի չորս անկյուններից յուրաքանչյուրի վրա կա երկու պտուտակ, որոնք պահում են նմուշը տեղում: Մի փոքր թուլացրեք այս պտուտակները (պտուտակահանի կես պտույտը պետք է բավարար լինի), այնուհետև հանեք դատարկ նմուշը բռնակից:
  • Առայժմ կարող եք դատարկ նմուշը մի կողմ դնել, բայց համոզվեք, որ այն տեղադրեք Kimwipe- ի վրա և ոչ թե անմիջապես գրասեղանի կամ սեղանի վրա: Տեղադրեք ձեր նմուշը ամրակի մեջ, ապա ամրացրեք պտուտակները:
  • Երբ ձեր նմուշը տեղում է, առաջ գնացեք և սահեցրեք նմուշի պահիչը նմուշի բեմում գտնվող իր ակոսների մեջ:
  • Այժմ դուք կարող եք փակել դուռը ՝ դուռը հետ մղելով դեպի խցիկ:
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 4
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 4

Քայլ 4. Դուռը փակ պահելիս սեղմեք և պահեք EVAC կոճակը, մինչև այն սկսի թարթել և խցիկը նորից վակուումի տակ դնել:

Դուք կլսեք կտտոցներ, այնուհետև մոտ մեկ րոպե անց կլսեք պոմպի տուրբինների պտտվելը: Այս պոմպերը պալատից կհեռացնեն գազի բոլոր մասնիկները և ներքին ճնշումը կհասցնեն մոտ 10^-6 torr: Երբ EVAC կոճակը փայլում է կանաչ գույնով, դա նշանակում է, որ խցիկը վակուումի մեջ է: Այժմ սպասեք ևս 5 րոպե, մինչև հաջորդ քայլին անցնելը:

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 5
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 5

Քայլ 5. 5 րոպեի ավարտից հետո դուք պատրաստ եք միացնել էլեկտրոնային ճառագայթը և սկսել լուսանկարել:

  • Գնացեք SEM համակարգիչ և մանրադիտակի ծրագրակազմը պետք է միացված լինի: Էկրանի վերին աջ անկյունում գտնվող կանաչ կոճակը կասի OFF ՝ նշելով, որ էլեկտրոնային ճառագայթն անջատված է: Կտտացրեք այն ՝ ճառագայթը միացնելու համար, այնուհետև այն կասի ՝ ON:
  • Հաջորդը, կտտացրեք ACB (ավտոմատ հակադրություն և պայծառություն) կոճակին, և ձեր նմուշը պետք է տեսանելի լինի:
  • Կառավարման վահանակի խոշորացման կոճակի միջոցով մեծացրեք ձեր ուզած խոշորացումը: Լավ գաղափար է, որ ձեր ուշադրության կենտրոնում կատարեք ձեր պատկերի համար ավելի մեծ խոշորացում, ուստի ձեր պատկերն ավելի լավ տեսք կունենա, երբ փոքրացնում եք: Օրինակ, եթե ցանկանում եք պատկեր 2, 500x- ով, կարող եք կենտրոնանալ մոտավորապես 4000x:
  • Մեծացնելուց հետո, օգտագործեք կենտրոնացման կոճակը `ձեր պատկերը կենտրոնացնելու համար:
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 6
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 6

Քայլ 6. Կարգավորեք նմուշի բարձրությունը:

Այժմ ձեր նմուշը ուշադրության կենտրոնում է, բայց դուք կարող եք նկատել, որ այն այնքան էլ լավ տեսք չունի, ինչպես դուք կսպասեիք:

  • Համակարգչի էկրանին ձեր նմուշի նկարի տակ կտեսնեք աշխատանքային հեռավորությունը, որը նշված է որպես «WD x mm», որտեղ x- ը սովորաբար 10-20-ի սահմաններում գտնվող թիվ է: Ուշադրություն դարձրեք այս թվին:
  • Լավ պատկերների համար գուցե ցանկանաք օգտագործել 10 մմ աշխատանքային հեռավորություն: Սա նշանակում է, որ ճառագայթը կենտրոնացած է ոսպնյակից 10 մմ հեռավորության վրա: Աշխատանքային հեռավորությունը սահմանելու համար կտտացրեք «WD x մմ» կոճակին և կհայտնվի սահող, որը թույլ կտա Ձեզ փոխել x թիվը, որը 10 է: Շարունակեք և կտտացրեք 10:
  • Ներկայումս ընտրանքի բարձրությունը Z = 25 մմ է: Նմուշի բարձրությունը փոխելու համար օգտագործեք Z- կոճակը: Այս հատվածը կարող է բարդ լինել: Ինչպիսին էլ որ լիներ աշխատանքային սկզբնական հեռավորությունը, դրանից հանեք 10-ը, և ահա թե որքան կպահանջվի ձեր Z- կոճակը շարժելու համար: Օրինակ, եթե ձեր WD- ն 16 մմ էր, և այն փոխեցիք 10 մմ-ի, ապա ձեզ հարկավոր է մոտ 6 մմ ներքև շարժել ձեր Z- կոճակը: Այսպիսով, այն կդարձնեք մոտ 19 մմ:
  • Մինչ պտտում եք Z- կոճակը, դիտեք էկրանը, քանի որ այն կսկսի կենտրոնանալ: Երբ այն կենտրոնանա, ձեր նկարը պատրաստ է:
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 7
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 7

Քայլ 7. Մեծացրեք ձեր ուզած խոշորացումը և եթե ցանկանում եք տեղափոխվել ձեր ընտրանքի մեկ այլ տարածք, կարող եք օգտագործել X և Y կոճակները:

Կարող եք նաև հակադրություն և պայծառություն հարմարեցնել ըստ ձեր ցանկության: Երբ գտնեք ձեզ դուր եկած տարածքը, լուսանկարեք ՝ կտտացնելով տեսախցիկի պատկերակին, որն ասում է «ԽԱՆՈԹ»: Սա կբացի երկխոսության տուփ, որը թույլ կտա պահպանել ձեր պատկերի ֆայլը: Դուք կարող եք անվանել ֆայլը ըստ ձեր ընտրության և պահել այն համակարգչի ցանկացած պանակում կամ ֆլեշ կրիչով:

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 8
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 8

Քայլ 8. Անջատեք էլեկտրոնային ճառագայթը `կտտացնելով կանաչ կոճակին, որը վերևի աջ անկյունում ասում է« ON »:

Շարունակելուց առաջ համոզվեք, որ այն գրված է «OFF»: Պտտեք X, Y և Z կոճակները այնպես, որ յուրաքանչյուր արժեք լինի 25 մմ: Այժմ սեղմեք և պահեք VENT կոճակը, մինչև այն թարթվի ՝ նմուշի խցիկը մթնոլորտային ճնշմանը վերադարձնելու համար:

Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 9
Օգտագործեք սկան էլեկտրոնային մանրադիտակ Քայլ 9

Քայլ 9. Բացեք նմուշի խցիկը, երբ VENT կոճակը լինի նարնջագույն:

Երբ ձեր նմուշը հանում եք պահողից, դատարկ նմուշը նորից դրեք պատյանում և սահեցրեք այն ետ դեպի նմուշի փուլ: Սահեցրեք դուռը փակ դիրքով: Վերջապես, սեղմեք և պահեք EVAC կոճակը, մինչև այն թարթվի: ԵՐԲԵՔ մի թողեք SEM խցիկը օդափոխված, դա կարող է վնաս հասցնել ներսի մասերին: Երբ EVAC կոճակը վառ կանաչ գույն է ստանում, SEM- ը թողնելը խնայողություն է:

Գուշացումներ

  • Շատ կարևոր է ձեռնոցներ կրել, երբ դիպչում ես որևէ բանի, որը մտնելու է նմուշի պալատ:
  • Երբեք թողնել SEM պալատը օդափոխված: Եթե դուրս եք գալիս SEM- ից, համոզվեք, որ EVAC կոճակը փայլուն կանաչ է:
  • Եթե ձեր նմուշը պատրաստված չէ հատուկ SEM- ի համար, մի դրեք այն մանրադիտակի մեջ: Որոշ նմուշներ պարզապես լավ չեն երևա, բայց մյուսները իրականում կարող են վնաս հասցնել ներքին մասերին:

Խորհուրդ ենք տալիս: